技术参数
X1 轴
测量范围: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 0.2, 1mm/s 和手动
测量速度: 0.2, 0.5mm/s
移动方向: 向后
直线度: 3.5μm/50mm (CV-1000),
3.5μm/100mm (CV-2000)
* 当X 轴在水平方向上
指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45° (CV-2000)
Z2 轴(立柱，仅用于CV-2000)
立柱类型: 电动(S4 型) 和手动(M4 型)
垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
分辨率: 0.2μm (S4 型)
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器 (S4 型)
驱动速度: 0 - 5mm/s 和手动Z1 轴 (检测器)
测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)
分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)
检测方法: 弧形编码器
指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm
(20° C 时) *H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向下
测力: 10 - 30mN
跟踪角度: 向上：77°、向下：87°
(根据表面粗糙度，
使用标准单切面测针)
测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)
基座材料: 花岗岩 (CV-2000)
重量: 5kg (CV-1000N2),
115.8kg (CV-2000M4),
124kg (CV-2000S4)
电源: 100 - 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 150W (仅限主机)

选件
218-024: 用于CV-1000 的立柱支架
(垂直行程：250mm、倾斜范围：±45° )
218-001: 十字移动工作台 (XY 范围范围：100 x 50mm)
218-011: 十字移动工作台 (XY 范围范围：4" x 2")
218-041: 十字移动工作台 (XY 范围范围：50 x 25mm)
218-051: 十字移动工作台 (XY 范围范围：2"x 1")
218-002: 坚固工作台
176-107: 带夹钳的支架
218-003: 旋转卡钳 (重型)
172-144: 旋转卡钳
172-234: 带夹钳的V 型块 (最大工件直径：50mm)
172-378: 带夹钳的V 型块 (最大工件直径：25mm)
172-197: 旋转式中心架
172-142: 中心支架
172-143: 中心支架向上装置
178-023: 防震台
178-024: 防震台架
998862: 用于立柱的销规 (mm)
998861: 用于立柱的销规 (inch)
––––––: 测臂和测针 (见 424 页)
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀(如：218-341A):
A 适于UL/CSA, D 适于CEE, E 适于BS, F 适于SAA, DC 适于中国、K
适于EK，无后缀适于JIS/100V